氣體的監(jiān)測和分析是檢查氣體質(zhì)量、確保用氣點或用氣設備能所用高純氣體的重要手段，也是保證安全生產(chǎn)的重要措施。高純氣體的監(jiān)測與分析，只有采用先進的分析方法和精密的分析儀器，才能獲得精i確的分析數(shù)據(jù)。氣體監(jiān)測和分析的重要性隨著晶片的幾何結(jié)構(gòu)縮小，集成電路集成度的不斷提高，即使有極微量的氣態(tài)雜質(zhì)的沾污和的塵埃污染，也會給生產(chǎn)帶來嚴重的破壞性。
工業(yè)氣體是指氧、氮、氬、氙、氫、二氧化碳、乙i炔、等。氣體工業(yè)名詞術(shù)語（標準氣體、高純氣體、特種氣體）1。特種氣體(Specialtygases)：指那些在特定領(lǐng)域中應用的,對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。1。特種氣體：指那些在特定領(lǐng)域中應用的,對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。2、標準氣體：標準氣體屬于標準物質(zhì)。
標準氣體充裝規(guī)則1、標準氣體充裝前應先編制充裝程序，確保充裝過程安全可行，充裝時選擇優(yōu)化的操作工藝，一般按組分濃度和分壓，遞增的次序充入組分。2、混合氣中含可凝結(jié)組分時，充裝壓力應在i低使用溫度下，可凝結(jié)組分的分壓不超過該溫度時其飽和蒸汽壓的70%。3、充裝的混合氣體應確保組分之間的相容性，禁止充裝、范圍內(nèi)的混合氣體，不充裝易發(fā)生化學反應的氣體。4、含有毒組分的混合氣體在充裝過程中，管道內(nèi)的殘氣禁止排入室內(nèi)或大氣中，必須經(jīng)解i毒或回收處理后才能放空。
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